美國(guó)Vitual專注于真空吸取搬運(yùn)解決方案，提供各種晶圓吸筆用于處理硅晶片、晶圓、電池片、藍(lán)寶石晶片、外延片、玻璃平板等敏感器件。每個(gè)晶圓吸筆都經(jīng)過(guò)測(cè)試，以確保符合Class 1潔凈要求，是晶圓鑷子的替代工具，對(duì)元件無(wú)損傷風(fēng)險(xiǎn)，通過(guò)長(zhǎng)管和配件連接電池式電動(dòng)真空吸筆。Vitual晶圓吸盤(pán)包括Peek材質(zhì)和耐高溫鐵氟龍涂層，適合4寸、6寸、8寸及12寸晶圓拾取。

Virtual電池式電動(dòng)吸筆專用晶圓吸盤(pán)型號(hào)

■ PEEK塑料吸盤(pán)，ESD防靜電，耐溫100℃，柄長(zhǎng)78.74mm

VMWT-A吸盤(pán)：長(zhǎng)寬尺寸35.56mm x 12.70mm，拾取 4” (100mm) wafers

VMWT-B吸盤(pán)：長(zhǎng)寬尺寸35.56mm x 33.02mm，拾取6” (150mm) wafers

VMWT-C吸盤(pán)：長(zhǎng)寬尺寸53.34mm x 35.56mm，拾取8” (200mm) wafers

（可訂購(gòu)上彎或下彎頭型號(hào)，10°、20°、30°彎曲，如VMWT-A20D表示 20度向下彎曲，“U”上彎、“D”下彎）

（可訂購(gòu)左彎或右彎曲型號(hào)，10°、20°彎曲，如VMWT-C20R表示向右彎曲20度，“L”左彎、“R”右彎）

VMWT-D用于處理更大尺寸的晶片，長(zhǎng)寬尺寸78.74mm x 53.34mm

另可選購(gòu)防止轉(zhuǎn)動(dòng)的適配頭VMWT-ADAPT-AR：ESD-Safe Anti Rotate Tip Adaptor

VWT-5R-AR：圓形12寸晶圓吸盤(pán)，空壓式晶圓吸筆，中心有孔減少接觸面，外經(jīng)127mm，處理12" 300mm晶圓

■ 鋁制鐵氟龍涂層吸盤(pán)（聚四氟乙烯），耐高溫250℃，直柄長(zhǎng)度76.20mm

VWT-100075PF耐高溫鐵氟龍晶圓吸筆頭，尺寸26.67mm x 19.05mm，厚3.30mm，處理4” (100mm) wafers，耐溫250℃

VWT-170110PF耐高溫鐵氟龍晶圓吸筆頭，長(zhǎng)寬尺寸43.18mm x 27.94mm，handles up to 6” (150mm) wafers

VWT-250125PF耐高溫鐵氟龍晶圓吸盤(pán)，長(zhǎng)寬尺寸63.50mm x 31.75mm，8” (200mm) wafers

（如需定制特殊加長(zhǎng)桿信號(hào)，請(qǐng)加后綴-XL，"X"為總長(zhǎng)度數(shù)字；定制彎曲型號(hào)后綴加-YD，“Y”為彎曲度）

（VWT-250125-PF20D表示同VWT-250125-PF型號(hào)，下彎20°；VWT-100075-PF20R同VWT-100075-PF，右彎曲20°）

賽浦斯VIRTUAL晶圓吸盤(pán)規(guī)格文檔http://www.testeb.com/download/201710/Virtual_Wafer_Tips.pdf

常用的Vitual電池式圓吸筆

VPW6300-VWT5R-220：充電式，配VWT-5R-AR圓形晶圓吸盤(pán)，空壓式吸筆，處理12" 300mm晶圓

VPW6000AR-MW8充電式晶圓吸筆：指示燈提示電量，預(yù)防產(chǎn)晶掉落，8寸硅片等產(chǎn)品使用

PV4000A電池式晶圓吸筆：可更換9V直流電池，配2、4、6、8寸吸筆頭使用，符合防靜電規(guī)格

V3200-CLN-MW6電池式晶圓吸筆：內(nèi)置真空發(fā)生器不用外接氣源，9V電池可更換，配4~8寸吸筆頭，潔凈室標(biāo)準(zhǔn)